氣相法通常需要在高溫、溶漿機(jī)惰性氣體氛圍中進(jìn)行，適用于制備金屬、半導(dǎo)體、碳化物、氮化物和氧化物等以易升華物質(zhì)為原料的納米微粒、一維納米材料和納米陣列、納米薄膜。大多數(shù)氣相法屬于物理法，但也有部分屬于氣相化學(xué)反應(yīng)。 （１）真空蒸發(fā)冷凝法 此方法是在高純惰性氣氛中（氬、氦、氮等），對(duì)物質(zhì)進(jìn)行真空加熱蒸發(fā)，蒸氣在氣體介質(zhì)中冷凝形成超細(xì)微粒。在蒸發(fā)過(guò)程中，由原物質(zhì)發(fā)出的原子由于與惰性氣體原子碰撞，使之迅速損失能量而冷卻，這種有效的冷卻過(guò)程在原物質(zhì)蒸氣中造成很高的局域過(guò)飽和，這將導(dǎo)致均勻的成核過(guò)程，形成單個(gè)納米微粒。這種方法適用于制備金屬、過(guò)渡金屬氮化物、易升華離子化合物和氧化物等材料的納米微粒。１９８４年Ｇｌｅｉｔｅｒ制備金屬納米粒子即用此法。該法得到的納米微粒經(jīng)過(guò)高壓壓制成型，可以得到三維納米塊材料，如１９８７年Ｓｉｅｇｌｅｓ用該法成功制備了ＴｉＯ納米陶瓷。２ （２）活性氫熔融金屬法 含有氫氣的等離子體與金屬間產(chǎn)生電弧，使金屬熔融，電離的Ｎ、Ａｒ等氣體和Ｈ溶入熔融金屬，然后
釋放出來(lái)，在氣體中形２２成了金屬的納米粒子。此法也可應(yīng)用于制備納米陶瓷粒子。 （３）濺射法 此法是在陰陽(yáng)電極間充Ａｒ氣，然后施加電壓，由于電極間的輝光放電使Ａｒ電離，在電場(chǎng)作用下Ａｒ離子沖擊陰極，使其表面原子蒸發(fā)出來(lái)形成納米粒子。適合制備各種熔點(diǎn)和多元組分的金屬納米微粒。此法也適合制備各種納米鑲嵌薄膜。 （４）流動(dòng)液面上真空蒸度法 該法的原理是在高真空中蒸發(fā)的金屬原子在流動(dòng)的油內(nèi)形成納米粒子。產(chǎn)品為含大量納米粒子的糊狀油。該法制備的金屬納米粒子尺寸分布較窄并可調(diào)。 （５）通電加熱蒸發(fā)法 此法適合于制備金屬碳化物。原理是通過(guò)在惰性氣氛下，碳棒與金屬相接觸，加熱使金屬熔化，再與高溫碳發(fā)生反應(yīng)生成。 （６）激光誘導(dǎo)化學(xué)氣相沉積（ＬＩＣＶＤ） 這種方法的基本原理是利用反應(yīng)氣體分子（或光敏劑分子）對(duì)特定波長(zhǎng)激光束的吸收，引起反應(yīng)氣體分子激光光 ４３２第十一章 現(xiàn)代化學(xué)應(yīng)用講座 解、激光熱解、激光光敏化和激光誘導(dǎo)化學(xué)合成反應(yīng)，在一定工藝條件下，獲得納米粒子空間成核和生長(zhǎng)。
該法具有清潔表面、粒子大小可調(diào)、粒度分布均勻等優(yōu)點(diǎn)，適合于制備晶態(tài)或非晶態(tài)納米微粒。 （７）爆炸絲法 這種方法適用于工業(yè)上連續(xù)生產(chǎn)納米金屬、合金和金屬氧化物納米微粒，原理是融斷的金屬絲在高壓電場(chǎng)內(nèi)放電形成蒸氣，在惰性氣體碰撞下形成納米微粒，這里的金屬絲可以通過(guò)供絲系統(tǒng)進(jìn)行半連續(xù)生產(chǎn)。 （８）化學(xué)氣相凝聚法 此法是通過(guò)前驅(qū)物金屬有機(jī)分子熱解獲得納米微粒。利用惰性載氣攜帶金屬有機(jī)前驅(qū)物進(jìn)入高溫爐，使?fàn)t內(nèi)保持低壓狀態(tài)，原料熱解形成團(tuán)簇，進(jìn)而形成納米微粒。如以碳?xì)浠衔餅樵希瑒t通過(guò)熱解也可以得到碳納米管。 （９）電弧放電法 １９９９１年Ｉｉｊｉｍａ首次制備多壁碳納米管使用的就是用碳棒做電極進(jìn)行直流電弧放電的方法。以后有人以Ｆｅ或Ｃｏ為催化劑通過(guò)該法又合成了單壁碳納米管，在此以后，單壁碳納米管的陣列也由該法制備出。 （１０）碳納米管模板法 該法是以碳納米管為模板，通過(guò)與高溫氣體的反應(yīng)，合成多種碳化物和氮化物的一維納米材料。１９９５年哈佛大學(xué)的戴宏杰提出了使用該法制備一維納米線的普適反應(yīng)模式。
